核心優勢?
- ?極端環境適應性?
- ?高溫穩定性?：1600°C持續工作（短期1800°C），熱導率30 W/(m·K)，適用于高溫熱管理場景。
- ?耐腐蝕性?：抗98%濃硫酸、40%NaOH溶液（1000小時質量損失＜0.02%），耐受等離子體（Cl?/CF?）蝕刻。
- ?精密加工能力?
- ?微米級精度?：CNC研磨公差±0.005mm，激光打孔最小孔徑0.1mm（深徑比20:1）。
- ?復雜結構成型?：多腔體、異形槽、內螺紋一體化燒結（凝膠注模+等靜壓工藝）。
?典型應用?
- ?半導體設備?：晶圓傳輸機械臂、真空腔體絕緣支撐柱。
- ?新能源裝備?：燃料電池雙極板、鋰電池燒結承燒架。
- ?光學器件?：激光諧振腔支架、高能射線屏蔽基座。
?陶瓷基座：高精度與多功能集成?
?設計要點?
- ?電-熱-力耦合設計?
- ?絕緣性能?：體積電阻率＞10¹? Ω·cm，介電強度15 kV/mm（1mm厚度）。
- ?熱匹配性?：熱膨脹系數6.5×10??/°C（與鉬/可伐合金兼容，避免熱應力開裂）。
- ?承載能力?：抗壓強度＞2500 MPa，表面粗糙度Ra≤0.1μm（減少摩擦損耗）。
- ?功能擴展方案?
- ?金屬化處理?：鉬錳法鍍層（氣密性焊料潤濕角＜10°），支持金/銀導線鍵合。
- ?復合涂層?：氮化鋁（AlN）導熱層、氧化釔（Y?O?）抗等離子涂層。
?應用案例?
- ?功率模塊基座?：IGBT/DBC陶瓷襯底，導熱率30 W/(m·K)，擊穿電壓20 kV。
- ?傳感器封裝?：MEMS壓力傳感器絕緣基板，介電損耗tanδ＜0.0002（1 MHz）。
- ?射頻器件?：5G濾波器陶瓷載體，介電常數9.8±0.1（10 GHz高頻穩定性）。
?絕緣陶瓷：突破電氣與熱學瓶頸?
?關鍵性能指標?
| 參數 | 氧化鋁陶瓷（99.5%） | 氮化鋁陶瓷 | 氧化鈹陶瓷（注：限軍用） |
|---|---|---|---|
| ?體積電阻率? | 10¹? Ω·cm | 10¹? Ω·cm | 10¹? Ω·cm |
| ?介電常數（1MHz）? | 9.8 | 8.8 | 6.7 |
| ?熱導率? | 30 W/(m·K) | 180 W/(m·K) | 250 W/(m·K) |
| ?擊穿強度? | 15 kV/mm | 20 kV/mm | 35 kV/mm |
?應用場景?
- ?高壓絕緣?：真空斷路器陶瓷外殼（耐壓＞40 kV）、新能源汽車充電樁絕緣柱。
- ?高頻電路?：射頻微波窗口片（介電損耗＜0.0003）、雷達波導組件。
- ?腐蝕環境?：化工傳感器密封襯套（抗H?S/Cl?氣體滲透）。
