典型應(yīng)用場景
?1. 新能源電池制造?
- ?電解液精密填充?:
- 耐DMC/EC等酯類溶劑腐蝕(陶瓷零溶脹)
- 流量波動≤±0.5%(保障電芯一致性)
- ?納米硅碳漿料涂布?:
- 槽閥剪切力≤1 Pa·s(保護納米材料結(jié)構(gòu))
?2. 食品與制藥?
- ?高粘度膠原蛋白灌裝?:
- CIP/SIP原位清洗滅菌(耐受132℃高壓蒸汽)
- 無機械閥設(shè)計,避免生物膜滋生
- ?果醬/巧克力定量泵送?:
- 流道自清潔設(shè)計(殘留量≤0.1 μL)
?3. 半導(dǎo)體與光學(xué)?
- ?光刻膠循環(huán)供給?:
- 抗靜電陶瓷(表面電阻≤10? Ω)防止顆粒吸附
- 脈動率≤0.3%(保障晶圓涂層均勻性)


